晶升股份等公布“一种晶圆掺杂浓度的控制装置”专利 焦点报道

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天眼查APP显示，近日，南京晶升装备股份有限公司,南京晶升半导体科技有限公司申请的“一种晶圆掺杂浓度的控制装置”专利公布。 摘要显示，本发明公开了一种晶圆掺杂浓度的控制装置，包括石英导槽、设置于石英导槽入口端的网孔板和调节装置，石英导槽包括一侧倾斜向外的喇叭型入口，喇叭型入口包括用于主进气的主体部和用于掺杂进气的倾斜部，调节装置包括遮挡板和驱动装置，遮挡板用于遮挡石英导槽入口倾斜部的两端，驱动装置用于驱动遮挡板，从而调节遮挡板位于石英导槽入口和网孔板之间两端的面积，当遮挡板位于石英导槽入口和网孔板之间时，遮挡板遮挡部分石英导槽入口的倾斜部。通过驱动装置调节遮挡板遮挡石英导槽两端的面积，来实现可线性调节边缘掺杂气体进入石英导槽的气体流量，从而可以微量调节产品掺杂浓度，让产品的掺杂浓度均匀性可以更好。